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DHPS 系列 直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置

本系列實(shí)驗(yàn)裝置是一款緊湊型等離子薄膜濺射儀,專門設(shè)計(jì)為在基底上鍍上金屬膜,如金,鉑,銦和銀等。最大可放置樣品尺寸直徑為 40mm,膜厚可達(dá) 300 埃,特別適用于為 SEM 樣品鍍上金而作為導(dǎo)電極。

主要技術(shù)參數(shù)

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